[发明专利]阀装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造装置在审
| 申请号： | 202080012062.8 | 申请日： | 2020-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN113423987A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 丹野竜太郎;吉田俊英;土口大飞;铃木裕也;近藤研太;中田知宏;篠原努;滝本昌彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K7/17;F16K31/122;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其用于对被定位于开位置的操作构件(40)的位置进行调整；以及位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 流量 控制 方法 流体 半导体 制造 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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