[发明专利]基板载具头和加工系统在审
| 申请号： | 202080012716.7 | 申请日： | 2020-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN113382825A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | D·R·特洛伊;W·M·达施巴赫 | 申请（专利权）人： | 崇硕科技公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;H01L21/306;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 董巍 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板载具头。在一个方面，载具头包括载具主体、基板保持器、第一弹性膜和第二弹性膜。载具头可以包括内支撑板。基板保持器附接到载具主体。基板保持器包括经配置成接收基板的孔。第一弹性膜包括宽度为W1的第一无孔基板支撑部分。第二弹性膜包括宽度为W2的第二无孔基板支撑部分。第二无孔基板支撑部分定位在第一基板支撑部分与载具主体之间，并且经配置成选择性地提供抵靠第一无孔基板支撑部分的至少内部区段的力。内支撑板相对于载具固定，并且包括经配置成支撑第二无孔基板支撑部分的支撑表面。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具头 加工 系统 | ||
【主权项】：
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