[发明专利]用于定位物体的定位系统在审
| 申请号： | 202080013417.5 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113424018A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 伦斯·亨塞尔曼斯 | 申请（专利权）人： | 荷兰联合仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04;G01M11/02;G01B5/008;G01B7/008;G01B11/00;G01B5/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄隶凡 |
| 地址： | 荷兰恩*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于定位物体的定位系统，其中定位系统包括堆叠载物台系统，其中堆叠载物台系统是在基准表面上可移动的，其中堆叠载物台系统包括：驱动系统，用于驱动堆叠载物台系统；第一载物台，其布置成沿着与基准表面的平面平行的驱动平面被驱动；主载物台，用于支撑物体，其中主载物台布置在被驱动的第一载物台上，以用于沿着驱动平面移动主载物台；其中主载物台系统包括旋转驱动系统，并且其中旋转驱动系统布置成用于围绕平行于与驱动平面垂直的平面外方向的轴线相对于第一载物台旋转主载物台；以及其中主载物台相对于第一载物台沿平面外方向是可移动的，并且其中主载物台还包括支撑轴承，支撑轴承布置成沿平面外方向将主载物台可移动地支撑在基准表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 定位 物体 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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