[发明专利]电力用半导体装置和电力变换装置在审
| 申请号： | 202080013625.5 | 申请日： | 2020-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113424313A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 中田和成;田口健介 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L25/07 | 分类号： | H01L25/07;H01L25/18;H01L29/06;H01L29/78;H01L29/12;H01L21/336 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 金春实 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 功率半导体元件(101)具有包括角部(CN)的末端区域(RT)以及末端区域(RT)的内侧的元件区域(RE)。SiC基板(10)跨越元件区域(RE)和末端区域(RT)。层间绝缘膜(52)在末端区域(RT)中在SiC基板(10)上具有外缘(B1)。源极电极(21)在元件区域(RE)中与SiC基板(10)相接，在末端区域(RT)中在层间绝缘膜(52)上具有外缘(B3)。绝缘保护膜(60)覆盖层间绝缘膜(52)的外缘(B1)和源极电极(21)的外缘(B3)，在源极电极(21)上具有内缘(B2)。在末端区域(RT)的角部(CN)，层间绝缘膜(52)的外缘(B1)具有曲率半径(R1)，绝缘保护膜(60)的内缘(B2)具有曲率半径(R2)。曲率半径(R2)大于曲率半径(R1)。 | ||
| 搜索关键词： | 电力 半导体 装置 变换 | ||
【主权项】：
暂无信息
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