[发明专利]氧化物烧结体、溅射靶及溅射靶的制造方法在审
| 申请号： | 202080013869.3 | 申请日： | 2020-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN113423860A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 海上晓 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/453 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化物烧结体(1)，氧化物烧结体(1)的表面的维氏硬度的平均值超过500Hv、小于900Hv。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 烧结 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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