[发明专利]使用催化剂阻断剂形成图案在审
申请号: | 202080014427.0 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN113454266A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 迈克尔·莱利·文森;苏妮蒂·K·夏尔马;池田新地;卡尔文·陈;沙拉卡·拉汉代尔 | 申请(专利权)人: | 艾瑞科公司 |
主分类号: | C23C18/16 | 分类号: | C23C18/16;H05K3/18 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 马丛 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 介绍了在基材上图案化化学镀金属的方法。基材被阻断剂覆盖。在基材上形成催化剂阻挡层之后,去除部分催化剂阻挡层以形成电路图案。将催化剂放置在催化剂阻挡层和暴露的基材的表面上。催化剂阻挡层阻止或降低催化剂的催化活性。进行化学镀金属以在催化剂的活性部分镀上金属。 | ||
搜索关键词: | 使用 催化剂 阻断剂 形成 图案 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾瑞科公司,未经艾瑞科公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202080014427.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:超声分析方法和设备
- 下一篇:增强UP功能请求的PFCP关联释放
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理