[发明专利]转换装置、包括转换装置的沉积装置、用于转换流体流的方法以及用于将颗粒沉积到基板上的方法在审
| 申请号： | 202080015636.7 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113498363A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 卡塔琳娜·韦伯;马克斯·库尔;托比亚斯·文森特·菲弗 | 申请（专利权）人： | VS粒子控股有限公司 |
| 主分类号： | B05B7/00 | 分类号： | B05B7/00;B05B7/12;B82Y30/00;B05B12/18 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 石佳 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于转换流体流动的转换装置(120)，其中，转换装置(120)包括流体导管(126)、第一转换流体导管(131)、排气导管(125)以及控制装置(127)，该流体导管(126)包括用于流体的第一入口(121)和第一出口(122)，该第一转换流体导管(131)包括用于转换流体的第二入口(123)，该第一转换流体导管(131)被配置成在第一入口(121)与第一出口(122)之间的第一位置(133)处与流体导管(126)流体连接，该排气导管(125)包括第二出口(124)，该排气导管(125)被配置成在第一入口(121)和第一位置(133)之间的第二位置(134)处与流体导管(126)流体连接，该控制装置(127)被配置成用于控制流入流体导管(126)中的转换流体。其中，转换装置(120)进一步包括第二转换流体导管(132)，该第二转换流体导管(132)被配置成与排气导管(125)和第一转换流体导管(131)流体连接。其中，控制装置(127)被配置成用于控制转换流体流入第一转换流体导管(131)和/或第二转换流体导管(132)。 | ||
| 搜索关键词： | 转换 装置 包括 沉积 用于 流体 方法 以及 颗粒 到基板上 | ||
【主权项】：
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