[发明专利]用于运行电容式MEMS传感器的方法和电容式MEMS传感器在审
| 申请号： | 202080015710.5 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN113454423A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | L·瓦利;A·维斯孔蒂;F·迪亚齐 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776;B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于运行电容式MEMS传感器的方法，包括步骤：在所述MEMS传感器的可偏转布置的震动质量上提供定义的电势；借助时钟控制的控制电压电容式激励所述震动质量的振动运动；通过相应于所述时钟控制的控制电压的时钟的、连接到所述震动质量上的电存储元件的有针对性的充电和/或放电，补偿由所述时钟控制的控制电压决定的、在所述震动质量上所提供的电势的波动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 运行 电容 mems 传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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