[发明专利]基板及发光元件在审

专利信息
申请号: 202080016889.6 申请日: 2020-02-27
公开(公告)号: CN113518840A 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 大井户敦;山泽和人 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: C30B29/38 分类号: C30B29/38;C30B29/20;C30B31/00;H01L21/20
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;尹明花
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 基板(10)具备重叠的第一层(L1)及第二层(L2),第一层(L1)包含结晶质的AlN及添加元素,第二层(L2)包含结晶质的α‑氧化铝,添加元素为选自稀土元素、碱土元素及碱金属元素中的至少一种,第一层(L1)的厚度为5~600nm,RC(002)为源自AlN的(002)面的衍射X射线的摇摆曲线,RC(002)通过第一层(L1)的表面SL1的ω扫描来测定,RC(002)的半值宽度为0~0.4°,RC(100)为源自AlN的(100)面的衍射X射线的摇摆曲线,RC(100)通过第一层(L1)的表面SL1扫描来测定,RC(100)的半值宽度为0~0.8°。
搜索关键词: 发光 元件
【主权项】:
暂无信息
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