[发明专利]基板及发光元件在审
申请号: | 202080016889.6 | 申请日: | 2020-02-27 |
公开(公告)号: | CN113518840A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 大井户敦;山泽和人 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | C30B29/38 | 分类号: | C30B29/38;C30B29/20;C30B31/00;H01L21/20 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;尹明花 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
基板(10)具备重叠的第一层(L1)及第二层(L2),第一层(L1)包含结晶质的AlN及添加元素,第二层(L2)包含结晶质的α‑氧化铝,添加元素为选自稀土元素、碱土元素及碱金属元素中的至少一种,第一层(L1)的厚度为5~600nm,RC(002)为源自AlN的(002)面的衍射X射线的摇摆曲线,RC(002)通过第一层(L1)的表面S |
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搜索关键词: | 发光 元件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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