[发明专利]沉积掩模、及制造和使用沉积掩模的方法在审
| 申请号： | 202080017200.1 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN113490762A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 凯文·莫雷斯;亚历山大·N·勒纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;C23C14/12;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 大体而言，本文描述的示例关于沉积掩模以及制造和使用这种沉积掩模的方法。示例包括用于形成沉积掩模的方法。掩模层沉积在基板上。穿过掩模层图案化掩模开口。基板的中央部分被移除以限定穿过基板的周边部分的基板开口。具有穿过掩模层的掩模开口的掩模层延伸跨越基板开口。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 制造 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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