[发明专利]浓度测定装置在审
| 申请号： | 202080018145.8 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113508287A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 永濑正明;长谷川惠一;西野功二;池田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G01N21/03 | 分类号： | G01N21/03;G01N21/33;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于测定在连接有多个气体供给管线的合流块体(14)中流动的气体的浓度的浓度测定装置(20)，其具备：发出向形成于合流块体的流路入射的光的光源(40)；接收从流路出射的光的光检测器(44)；以及根据光检测器的输出求出在流路中流动的气体的浓度的运算控制电路(46)，用于使来自光源的光入射到流路的透光性的入射窗(26、23)以及用于使通过了流路的光出射的透光性的出射窗(28、23)中的至少任意一个相对于合流块体(14)密封固定。 | ||
| 搜索关键词： | 浓度 测定 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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