[发明专利]用于集成装置的光学吸收滤光器在审
申请号: | 202080019075.8 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN113544493A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 迈克尔·贝洛斯;费萨尔·R·阿哈默德;詹姆斯·比奇;迈克尔·库曼斯;沙拉特·侯萨利;阿里·卡比里;凯尔·普雷斯顿;杰勒德·施密德;沈冰;乔纳森·M·罗斯伯格 | 申请(专利权)人: | 宽腾矽公司 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64;G02B5/20;G02B5/22 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 谭营营;胡彬 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述了与衰减入射在用于样品分析的集成装置中的传感器(1‑122)上的激发辐射有关的装置和方法。选定材料和晶体形态的至少一个半导体膜(1‑336)位于形成在基板(1‑105)上的集成器件中的波导(1‑115)和传感器(1‑122)之间。对于单层半导体材料(1‑135)相距40nm的激发和发射波长,可以获得大于100或更高的抑制比。 | ||
搜索关键词: | 用于 集成 装置 光学 吸收 滤光 | ||
【主权项】:
暂无信息
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