[发明专利]层叠体、组合物及层叠体形成用套组在审
| 申请号： | 202080020035.5 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN113574455A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 中村敦;高桑英希 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种层叠体、用于形成上述层叠体中所包含的保护层或感光层的组合物及用于形成上述层叠体的层叠体形成用套组，所述层叠体依次包含基材、有机层、保护层及感光层，上述感光层包含具有阴离子部的鎓盐型光产酸剂，所述阴离子部选自由稠环结构、交联环结构及螺环结构组成的组中的至少一种环结构的基团，上述感光层供使用显影液的显影，上述保护层供使用剥离液的去除。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 组合 体形 成用套组 | ||
【主权项】：
暂无信息
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