[发明专利]雪崩光电探测器(变型)及其制造方法(变型)

摘要

本发明涉及雪崩光电探测器(APD)，该APD能够记录微弱光信号，并且能够用于LiDAR、通信系统、机器视觉、机器人、医学、生物学、环境监测等。要求保护的APD包括晶片，该晶片承载将要检测的光信号转换为自由电荷载流子电流的光电转换器和该电流的至少一个雪崩放大器，放大器包括两层‑‑接触层和倍增层，其中倍增层形成在整个导电晶片上。至少一个雪崩放大器的接触层形成在倍增层的某一区域中，同时在接触层外部，倍增层作为光电转换器起作用。因此，已由光电转换器引发的光载流子将不受阻碍、高效地进入雪崩放大器的倍增区，这使仪器具有更高的阈值灵敏度。具有从晶片渗出的较少暗电流并抑制来自相邻雪崩放大器的光电通信噪声的光电探测器的变型使得制造多通道雪崩仪器成为可能，该多通道雪崩仪器的阈值灵敏度是常规APD的阈值灵敏度的数倍，尤其是在过度背景照明的情况下，过度背景照明是车载LiDAR的典型情况。