[发明专利]真空泵及该真空泵的控制装置在审
| 申请号： | 202080021170.1 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN113544387A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 三枝健吾 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;王玮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供实现在不使用固封件的情况下廉价地水滴难以侵入的构造、且具备泵主体和控制装置容易分离而容易保养的构造的真空泵及该真空泵的控制装置。从基座部（129）的周围等泄漏的水滴侵入间隙（220）。特别地，盖（219）被拆卸时水滴容易侵入。该情况下有水滴流向凹部（200b）的可能性，但中空板状部（221a）相对于凹部（200b）在金属面彼此间被密封固接，所以水滴不侵入控制装置（200）内部。此外，筒状部件（221）形成为将间隙（220）贯通而比间隙（220）的厚度高，所以在间隙（220）处溢出的水滴也不从筒状部件（221）的内侧侵入。进而，即使在水滴在板（150）的上表面的情况下，由于筒状部件（221）被比板（150）的上表面高地突出设置，所以越过筒状部件（221）地侵入的可能也少。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 控制 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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