[发明专利]蒸镀掩模的制造方法、显示装置的制造方法及蒸镀掩模中间体

摘要

蒸镀掩模的制造方法包括：准备金属板以及玻璃基板的工序，在25℃以上100℃以下的温度范围内，玻璃基板的线膨胀系数与金属板的线膨胀系数之差的绝对值为1.3×10‑6/℃以下；经由树脂层将玻璃基板与金属板接合的工序；通过在与玻璃基板接合后的金属板形成多个掩模孔而从金属板形成掩模板的工序；将掩模板中的与树脂层所接触的面相反侧的面与掩模框架接合的工序，该掩模框架具有比掩模板高的刚性，且具有将多个掩模孔的整体包围的形状；以及从与掩模框架接合后的掩模板取下树脂层以及玻璃基板的工序。