[发明专利]红外传感器和配备有红外传感器的红外传感器装置在审
| 申请号： | 202080022390.6 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113677962A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 木田翔也;岛本延亮;南那由多;服部勋;小林直纪;山中浩 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J5/16;H01L27/144;G01J5/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 庄锦军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明能够抑制每个热红外检测单元的冷触点温度的变化。根据本发明，膜结构3由衬底(1)支撑。薄膜结构(3)具有多个阵列状排列的热红外检测单元(4)。多个热红外检测单元(4)中的每一个包括具有多个热触点(T1)和多个冷触点(T2)的热电堆(6)。红外传感器(100)还设有多个加热器单元(8)和温度测量单元(9)。多个加热器单元(8)设置在衬底(1)的第一主表面(11)上。温度测量单元(9)设置在衬底(1)的第一主表面(11)上，用于检测衬底(1)的温度。在衬底(1)的厚度方向(D1)俯视时，多个加热器单元(8)分别与多个加热器单元(8)中的其他加热器单元(8)隔着区域(10)相对，其包括多个热红外检测单元(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 红外传感器 配备 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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