[发明专利]氮化硅粉末及其制造方法、以及氮化硅烧结体的制造方法在审
| 申请号： | 202080022939.1 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113614035A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 中村祐三;宫下敏行 | 申请（专利权）人： | 电化株式会社 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;C04B35/593 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 牛蔚然 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供内部氧量为0.6质量％以下的氮化硅粉末。提供氮化硅粉末的制造方法，其具有下述工序：对氧浓度为0.4质量％以下的硅粉末在包含氮与氢的混合气氛下进行烧成而制得烧成物的工序；和使用氟化氢浓度为10～40质量％的氢氟酸对烧成物进行处理的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 粉末 及其 制造 方法 以及 烧结 | ||
【主权项】：
暂无信息
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