[发明专利]聚合物、抗蚀剂组合物、形成有图案的基板的制造方法、以及(甲基)丙烯酸酯及其制造方法在审
| 申请号： | 202080023085.9 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113614073A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 向井一晃;城健;加门良启;佐久间谕;安斋龙一 | 申请（专利权）人： | 三菱化学株式会社 |
| 主分类号： | C07D333/48 | 分类号： | C07D333/48;C08F220/38;C07B61/00;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;胡玉美 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种聚合物，其包含基于式(1)所表示的单体的结构单元(1)，且基于具有多环结构的单体的结构单元的含量为35摩尔％以下。式(1)中，R |
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| 搜索关键词： | 聚合物 抗蚀剂 组合 形成 图案 制造 方法 以及 甲基 丙烯酸酯 及其 | ||
【主权项】：
暂无信息
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