[发明专利]用于机器学习辅助的光学邻近效应误差校正的训练方法

摘要

本文描述的是一种确定用于训练机器学习模型以预测光学邻近效应校正的代表图案的方法。所述方法包括：获得包括一组图案群组的设计布局，每个图案群组包括一个或更多个子群组；确定所述一组图案群组中的一组代表图案，所述代表图案是其实例出现于所述一组图案群组中的子群组；经由使用所述一组代表图案来模拟光学邻近效应校正过程，获得与所述一组代表图案相关联的参考光学邻近效应校正数据；和训练机器学习模型，以基于所述一组代表图案和所述一组参考光学邻近效应校正数据来预测针对所述设计布局的光学邻近效应校正。