[发明专利]基板和材料表征方法及装置在审
| 申请号： | 202080023331.0 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113614520A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 卡迈勒·萨曼塔 | 申请（专利权）人： | 索尼半导体解决方案公司 |
| 主分类号： | G01N22/00 | 分类号： | G01N22/00;H01P3/12 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 装置包括具有导电形成结构的平面基板，该导电形成结构限定基板集成波导测试谐振器；测试谐振器包括至少部分地形成在基板内的三维区域，该区域具有平行于基板的平面延伸的第一和第二平面导电层，以及一个或多个垂直于基板的平面的导电侧壁形成结构，限定绕三维区域延伸的谐振器侧壁围；其中，第一和第二平面导电层中的一个包括测试端口，该测试端口包括与该平面导电层的其余部分电隔离的导电测试连接。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 表征 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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