[发明专利]光电平台结构和制造光电平台结构的方法在审
申请号: | 202080023749.1 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN113678040A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 艾伦·詹姆斯·丹诺;邱圣安;曹羽;蒂鲁马来·文凯·文卡特桑 | 申请(专利权)人: | 新加坡国立大学 |
主分类号: | G02B6/122 | 分类号: | G02B6/122;G02B6/132;G02B6/136;G02F1/355;G02F1/377 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 刘聪 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
一种光电平台结构和一种制造光电平台结构的方法。该方法包括以下步骤:提供衬底,并在衬底表面上沉积BaTiO |
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搜索关键词: | 光电 平台 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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