[发明专利]具有紧密节距和高效率的VCSEL阵列在审
申请号: | 202080024072.3 | 申请日: | 2020-03-09 |
公开(公告)号: | CN113711450A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 李卫平;A·拉弗拉奎埃雷;方小龙 | 申请(专利权)人: | 苹果公司 |
主分类号: | H01S5/042 | 分类号: | H01S5/042;H01S5/42;H01S5/183;H01S5/026;H01S5/0225;H01S5/20 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 马明月 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种光电设备(20,120),该光电设备包括半导体基板(24)。第一组薄膜层设置在该基板上并且限定下部分布式布拉格反射器(DBR)叠堆(42)。第二组薄膜层(40,46)设置在该下部DBR叠堆上方并且限定光学发射区域(43),该光学发射区域容纳在由多个沟槽(28,128)限定的台面中,该多个沟槽围绕该光学发射区域设置而不完全包围该光学发射区域。第三组薄膜层设置在该光学发射区域上方并且限定上部DBR叠堆(44,124)。电极(30,130)围绕该台面设置在该沟槽之间的间隙中并且被配置为将激发电流施用到该光学发射区域。 | ||
搜索关键词: | 具有 紧密 高效率 vcsel 阵列 | ||
【主权项】:
暂无信息
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