[发明专利]高蚀刻选择性的低应力可灰化碳硬掩模在审
| 申请号： | 202080024547.9 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113710829A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 薛君;玛丽·安妮·马努姆皮尔;李石柯;萨曼莎·西亚姆华·坦 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/033 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在衬底上沉积碳可灰化硬掩模层的方法包括：a)将衬底布置在处理室中；b)将室压强设定在预定压强范围内；c)将衬底温度设定在‑20℃至200℃的预定温度范围内；d)供应包含有烃前体和一或更多种其他气体的气体混合物；以及e)通过供应RF等离子体功率持续第一预定时段来激励等离子体，以在该衬底上沉积碳可灰化硬掩模层。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 选择性 应力 灰化 碳硬掩模 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
