[发明专利]厚膜抗蚀剂组合物和使用该厚膜抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜的制造方法在审
| 申请号： | 202080025244.9 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113632006A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 河户俊二;铃木理人;高市哲正;佐尾高步;平山拓 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | [课题]提供一种能够降低环境影响的厚膜抗蚀剂组合物。[技术方案]一种厚膜抗蚀剂组合物，包含(A)聚合物、(B)脱保护剂、(C)由阳离子和阴离子构成的特定的光反应淬灭剂，和(D)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 厚膜抗蚀剂 组合 使用 抗蚀剂膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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