[发明专利]测量方法以及检查装置在审
| 申请号： | 202080025449.7 | 申请日： | 2020-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN113728240A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 鸙野俊寿 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R35/00;G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 王茜;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市右京区西京极*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明既可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗值。对彼此隔离的多个第一电极(51)与多个第二电极(52)之间的电极间阻抗进行测量的测量方法包含下述步骤：对多个电流检测部(4)中的一个电流检测部进行校准；使用经校准的电流检测部即第一电流检测部(4a)来测量基准样本(S)的第一基准阻抗(Z |
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| 搜索关键词： | 测量方法 以及 检查 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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