[发明专利]器件参数的测量方法有效

专利信息
申请号: 202080027185.9 申请日: 2020-03-27
公开(公告)号: CN113678241B 公开(公告)日: 2023-10-03
发明(设计)人: 柳达也 申请(专利权)人: 罗姆股份有限公司
主分类号: H01L21/822 分类号: H01L21/822;H01L29/78;H01L29/12;G01R31/26;H01L27/04;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/00;H01L21/336
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 龚伟;王玉瑾
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 例如,器件参数的测量方法包括:在m个电阻值(其中m为3以上的整数)中切换所述开关元件的外部栅极电阻的同时,反复测量开关元件在其开关瞬态下的栅源电压(或栅极‑发射极电压)的步骤;以及在用Rgin和Vp分别表示所述开关元件的内部栅极电阻和坪电压,并将所述外部栅极电阻的m个电阻值和相应的所述栅源电压(或栅极‑发射极电压)的m个电压值分别用作Rg(k)和Vgs(k)(其中k=1,2…m)的同时,通过进行方程Vgs(k)=Rg(k)/(Rg(k)+Rgin)×Vp的拟合来导出所述开关元件的内部栅极电阻Rgin或坪电压Vp的步骤。
搜索关键词: 器件 参数 测量方法
【主权项】:
暂无信息
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