[发明专利]用于器件制造过程的方法在审
| 申请号： | 202080029676.7 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113711129A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | M·豪普特曼;A·B·伊斯梅尔;R·拉赫曼;李嘉鹏 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/418;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种用于产生用于器件制造过程的采样方案的方法，所述方法包括：获得多个处理后的衬底的测量数据时间序列；转换所述测量数据时间序列以获得频域数据；使用所述频域数据来确定时间采样方案；基于根据所述时间采样方案在衬底上所执行的测量来确定由所述时间采样方案所引入的误差偏移；以及确定改进后的时间采样方案以补偿所述误差偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 器件 制造 过程 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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