[发明专利]具有高流量和高均匀性的使用点动态浓度输送系统在审
| 申请号： | 202080032161.2 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113767338A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 罗纳德·纳斯曼;利奥尔·胡利;安东·德维利耶;罗德尼·罗宾森;诺曼·雅各布森;詹姆斯·格罗特格德 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/67;G03F7/16;B01F13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈炜;李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了一种用于在给定的分配期间以极高的均匀性和可重复性按动态变化或静态的比率混合液体化学品的方法和系统。混合器包括多个流体供应管线，该多个流体供应管线包括细长囊，这些细长囊限定线性流动路径且被配置为横向地扩展以收集过程流体并且横向地收缩以将选定体积的过程流体输送到该混合器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 流量 均匀 使用 动态 浓度 输送 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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