[发明专利]物体定位器、用于校正物体形状的方法、光刻设备、物体检查设备、装置制造方法在审
| 申请号： | 202080032445.1 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN113785242A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | M·J·H·弗伦克肯;T·M·纳格特加尔;O·V·沃兹恩伊 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种物体定位器，包括：具有物体支撑表面的物体支撑件，该物体支撑表面被配置为接合物体的至少一部分，所述物体支撑表面具有支撑表面温度；热装置，该热装置被配置为向物体的至少一部分提供第一物体温度，该第一物体温度与支撑表面温度相差第一预定温差。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 定位器 用于 校正 形状 方法 光刻 设备 检查 装置 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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