[发明专利]用于监控等离子体反应的光学系统和反应器在审
| 申请号： | 202080032542.0 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113795903A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | C·P·汤姆;谢飞;李巍;S·A·麦克勒兰德 | 申请（专利权）人： | 雷卡邦股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 何伟华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体发生系统(10)，包括：波导件(20)；等离子体腔，耦合到所述波导件(20)，并被配置为在其内部使用微波能量产生等离子体；空心的圆筒体(13)，从所述波导件(20)的壁上突出，并具有带有孔(66)的底盖；检测单元(61)，用于接收通过所述孔(66)从所述等离子体(46)发射的光，并被配置为测量在紫外线范围和红外线范围内的光强；和控制器(69)，用于控制所述检测单元(61)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监控 等离子体 反应 光学系统 反应器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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