[发明专利]由紫外光谱法测定含卤素氟化物气体所含的氟气浓度的测定方法在审
| 申请号： | 202080032718.2 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113785190A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 铃木淳 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 王潇悦;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的目的是提供一种高精度的测定方法，在使用紫外分光光度计测定含卤素氟化物气体所含的氟气浓度时，减少因卤素氟化物的光分解而产生的氟气等带来的测定误差。本发明是一种氟气浓度的测定方法，对含卤素氟化物气体照射小于250nm的波长范围内的紫外光强度的最大值(W |
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| 搜索关键词： | 紫外 光谱 测定 卤素 氟化物 气体 氟气 浓度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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