[发明专利]等离子体源/偏置功率输送的高速同步在审
| 申请号： | 202080033868.5 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113826184A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·T·瑞多姆斯基;本杰明·J·吉特林;拉里·J·菲斯克;马里乌斯·欧尔德杰伊;亚伦·M·贝里;乔纳森·W·斯米卡;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;纪冰;菲利克斯·莱比·科扎克维奇;约翰·霍兰;拉纳迪普·博乌米克 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司;朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种射频(RF)生成器系统，包括第一RF电源和第二RF电源，每个RF电源向负载施加相应的RF信号和第二RF信号。根据第二RF信号的施加来施加第一RF信号。第一RF信号的施加与第二RF信号的施加同步。第一RF信号可以与第二RF信号同步地进行幅度调制，并且幅度调制可以包括第一RF信号的消隐。频率偏移可以与第二RF信号同步地施加到第一RF信号。可以根据第二RF信号来控制与第一RF电源相关联的可变致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 偏置 功率 输送 高速 同步 | ||
【主权项】：
暂无信息
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