[发明专利]电子发射元件以及电子显微镜在审
| 申请号： | 202080033885.9 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113795902A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 村上胜久;长尾昌善 | 申请（专利权）人： | 国立研究开发法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/073;H01J9/02;H01J1/312 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子的能量散度窄、电子发射效率优异的电子发射元件以及使用该电子发射元件的电子显微镜。所述电子发射元件具备：第一电极、由绝缘膜构成的电子加速层以及第二电极依次层叠而成的层叠结构，第二电极为供电子透过、从表面发射电子的电极，发射出的电子的能量散度为100meV以上且600meV以下。例如，作为第二电极，可以使用1层以上且20层以下的石墨烯，作为绝缘膜，可以使用六方晶系的氮化硼。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 发射 元件 以及 电子显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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