[发明专利]声谐振器装置在审
| 申请号： | 202080033913.7 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113812089A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 里约·里瓦斯;凯文·麦卡伦;马修·瓦西里克;大卫·多尔 | 申请（专利权）人： | QORVO生物技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;G01N29/036;H03H3/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰;杨帆 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 制造用于流体装置的体声波谐振器结构的方法可以包括将第一导电材料设置在基板的第一表面的一部分上以形成第一电极的至少一部分的第一步骤；然后，可以将压电材料设置在第一电极之上；接下来，可以将第二导电材料设置在压电材料上方以形成第二电极的至少一部分；然后将声能管理结构设置在体声波谐振器的第一侧上方；接着，将第三导电材料设置在第二导电材料的延伸超出体声波谐振器的一部分上；最后，基板的第二表面的一部分被去除以暴露在体声波谐振器的第二侧的第一电极处的化学机械连接。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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