[发明专利]支撑光学元件在审
| 申请号： | 202080034662.4 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113811820A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | C.科尔纳;C.米勒;E.安塞尔姆 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02;G02B7/182;G02B7/00;G02B27/64 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明关于一种特别用于使用极紫外线(EUV)范围中的光的微光刻成像装置的布置，其包含固持装置(110)，用于固持固持光学元件(109)，其中该光学元件(109)包含光学表面(109.1)并限定主延伸平面，其中该光学元件(109)限定径向方向和圆周方向。固持装置(110)包含基座单元(110.1)和三个以上分开的固持单元(110.2)，其中该基座单元(110.1)包含多个支撑界面单元(110.3)，其在该圆周方向上彼此间隔开，用于将固持装置(110)连接到支撑结构(102.1)。固持单元(110.2)连接到基座单元(110.1)，并以沿着圆周方向分布且彼此间隔开的方式配置。固持单元(110.2)构成相对于基座单元(110.1)固持光学元件(109)。基座单元包含至少一个支撑薄膜元件(110.4)，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4)主要沿着圆周方向且沿着径向方向延伸，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4)具有横向于该圆周方向和径向方向的厚度尺寸。固持单元(110.2)配置在面向光学元件(109)的至少一个支撑薄膜元件(110.4)的前侧上。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 光学 元件 | ||
【主权项】：
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