[发明专利]具有可重置沉积区域的化学气相沉积装置

摘要

本发明涉及一种用于多个衬底上的等离子体辅助化学气相沉积的装置，包括：‑腔室(2)，配置为执行等离子体辅助化学气相沉积，‑托架(4)，包括n个堆叠的板(P1，P2)，每个板支撑至少一个衬底，板(P1，P2)由导电材料制成并且彼此电绝缘，‑连接到腔室的气体供应和排放装置(6)，‑发电机(8)，‑在发电机和板之间的电连接电路(10)，包括开关装置(C1、C2)，使得至少在一个开关状态下，两个相邻的板具有相同的极性并且两个相邻的板具有相反的极性。