[发明专利]具有改进的探测结果的光电探测器在审
申请号: | 202080037212.0 | 申请日: | 2020-05-15 |
公开(公告)号: | CN113841256A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | R·梅尔海姆;R·布鲁克纳;M·雅内尔;K·莱奥 | 申请(专利权)人: | 塞勒锐科有限公司 |
主分类号: | H01L31/0232 | 分类号: | H01L31/0232;H01L31/102 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘盈 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于光谱选择性地探测电磁辐射的光电探测器(1‑8)的不同方面,光电探测器具有用于探测电磁辐射的第一波长的第一光电结构元件(100‑106、108)。在此,第一光电结构元件(100‑106、108)具有第一光腔和至少一个设置在第一光腔中的探测单元(21、21a、22、22a、23)。第一光腔通过两个彼此间隔开距离的平行的反射镜层(11、11a、11’、12、12a)形成,第一光腔的长度设计为,使得对于第一波长而言在第一光腔中形成与第一波长相配设的i阶的谐振波(13、13a)。每个探测单元(21、21a、22、22a、23)都具有一个光活性层(210、220、230),光活性层分别这样设置在第一光腔内,使得谐振波(13、13a)的恰好一个振荡最大值位于光活性层内(210、220、230)。根据本发明的第一方面,第一光电结构元件(100‑106、108)的谐振波(13、13a)的阶数大于1,并且在第一光腔中设置有至少一个光学吸收性的中间层(30、31)和/或至少一个光学透明的触点层(50)。根据第二方面,第一光电结构元件(110、110’)除探测单元(21、21’)外还具有至少一个光学透明的间距保持层(40)和至少一个外部触点(60、60’),所述间距保持层在第一光腔中设置在反射镜层(11、12)之一与探测单元(21、21’)之间,所述外部触点邻接于探测单元(21、21’)的外表面并且由能导电的材料制成。 | ||
搜索关键词: | 具有 改进 探测 结果 光电 探测器 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的