[发明专利]用于确定与期望图案相关联的随机变化的方法在审
| 申请号： | 202080037361.7 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113874787A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 付继有 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N21/956;G06T7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述了一种用于确定与待印制于衬底上的图案相关联的随机边缘放置误差的方法。所述方法包括：经由量测工具采集所述图案的在所述衬底上的限定部位处的多个图像，而不在所述多个图像之间执行衬底对准；生成至少两个数据：(i)使用所述多个图像的第一图像集合产生与所述图案相关联的第一数据，和(ii)使用多个图像的第二图像集合产生与所述图案相关联的第二数据。所述第一图像集合和所述第二图像集合包括至少一个不同图像。还在所述限定部位处使用与所述图案相关联的所述第一数据和所述第二数据来确定(例如经由分解算法)与所述图案相关联的所述随机边缘放置误差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 期望 图案 相关 随机 变化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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