[发明专利]超纯水制造系统及超纯水制造方法有效
| 申请号： | 202080037668.7 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN113874328B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 市原史贵;近藤司;菅原广;桥本浩一郎 | 申请（专利权）人： | 奥加诺株式会社 |
| 主分类号： | C02F9/00 | 分类号： | C02F9/00;B01J39/05;B01J41/05;B01J41/12;B01J47/04;B01J49/09;B01J49/53;B01J49/57;B01J49/60;C02F1/42;C02F1/44;B01J39/18;C02F103/04 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明进一步减少供给到使用点的超纯水所含的微粒子。超纯水制造系统(1)具有：超纯水供给管线(L1)，与使用点(UP1～UP3)连接，且供超纯水流通；以及第一离子交换装置(6)、膜过滤装置(8)和第二离子交换装置(9)，在超纯水供给管线(L1)上串联配置。由膜过滤装置(8)过滤后的超纯水的至少一部分在被供给到使用点(UP1～UP3)之前由第二离子交换装置(9)进行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 制造 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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