[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202080038171.7 申请日: 2020-05-12
公开(公告)号: CN113906554A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 井上开人;木村明宽 申请(专利权)人: 罗姆股份有限公司
主分类号: H01L23/14 分类号: H01L23/14;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 金成哲;宋春华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的半导体装置(A1)具备:支撑部件(2);具有在z方向上分离的主面(301)及背面(302),且背面(302)与支撑部件(2)对置并接合于支撑部件(2)的金属部件(30);接合支撑部件(2)和金属部件(30)的第二接合层(42);与主面(301)对置且接合于金属部件(30)的半导体元件(10);以及覆盖支撑部件(2)、金属部件(30)、第二接合层(42)及半导体元件(10)的密封部件(7)。金属部件(30)包括由第一金属材料构成的第一金属体(31)及由第二金属材料构成的第二金属体(32),而且具有第一金属体(31)与第二金属体(32)的边界。第二金属材料的线膨胀系数比第一金属材料的线膨胀系数小。能够提供通过缓和半导体元件发热时的热应力,实现了可靠性的提高的半导体装置。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
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