[发明专利]载置台、检查装置和温度校正方法在审
| 申请号： | 202080038993.5 | 申请日： | 2020-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN113874693A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 山崎祯人;望月纯 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01K1/143 | 分类号： | G01K1/143;G01K15/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供载置台、检查装置和温度校正方法。载置台是载置被检查基片的载置台，具有多个温度传感器和电极焊盘。多个温度传感器分别测量载置台的多个部位的温度。电极焊盘与温度传感器分别连接，并设置于载置面。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 检查 装置 温度 校正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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