[发明专利]层叠型静电致动器

摘要

本发明提供在被较大的外力拉伸时也发挥充分的收缩力，并且在轻负荷时收缩率也不会降低的层叠型静电致动器。层叠型静电致动器由具有第一绝缘层、导体层、第二绝缘层的3层构造的多个电极膜构成，其被构成为：各电极膜在电极膜的第一绝缘层上具有以能够与其它电极膜接合的方式进行了表面加工的接合区域P、和不与其它电极膜接合的非接合区域Q，接合区域P与非接合区域Q的边界C具有能够使用至少一个以上的有限值的曲率半径来定义的波状图案，以第一电极膜的接合区域P和紧接在第一电极膜的下方的第二电极膜的接合区域P在层叠方向上相互不重叠的方式，并且以第一电极膜的边界C的波状图案的轴线与第二电极膜的边界C的波状图案的轴线平行的方式进行层叠配置，第一电极膜和第二电极膜在第二电极膜的第一绝缘层的接合区域P接合，由此，从层叠方向观察，多个电极膜具有两个电极膜接合的电极部和未接合的铰链部，在因外力而在层叠方向上被拉伸时，铰链部弹性变形，电极部彼此分离而在层叠方向上伸长，在对多个电极膜的导体层间施加电压时，分离的电极部彼此因静电力而收缩，而在层叠方向上收缩。