[发明专利]工艺监控方法、数据处理设备、计算机可读介质以及工艺监控设备

摘要

本发明涉及一种用于在机械的接合方法中进行工艺监控的方法，其包括，在进行机械的接合方法时接收(S100)多个测量值fi(xi)，其中，所述测量值分别使至少两个工艺参数fi、xi彼此相关，其中，i＝1…n。此外，方法包括，进行(S110)傅里叶变换，其中，为测量值fi(xi)确定一定数量的傅里叶系数并且将傅里叶系数的数量缩减(S120)到至少2维的子空间上，由此，确定测量点或(Ak,Al,…)(214、216)。方法还包括，在所述至少2维的子空间中将测量点或(Ak,Al,…)(214、216)与至少一个参考点(Rk,Rl,…)、(Rk,Sl,…)或(Sk,Sl,…)(219)相比较(S130)，并且根据与所述参考点(219)的比较获得(S140)监控结果。