[发明专利]氟气制造装置及光散射检测器在审
| 申请号： | 202080039896.8 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN113906166A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 三神克己;福地阳介;小林浩 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C25B1/245 | 分类号： | C25B1/245;C25B9/00;C25B15/08;G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张轶楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供能够抑制由雾引起的配管、阀的堵塞的氟气制造装置。氟气制造装置的流路具有经由从流体除去雾的雾除去部而从电解槽的内部向氟气分选部输送流体的第1流路和以不经由雾除去部的方式从电解槽的内部向氟气分选部输送流体的第2流路，并且具有根据由平均粒径测定部测定出的雾的平均粒径来切换流通流体的流路的流路切换部。流路切换部在由平均粒径测定部测定出的雾的平均粒径为预先设定的基准值以下的情况下，从电解槽的内部向第1流路输送流体，在由平均粒径测定部测定出的雾的平均粒径比预先设定的基准值大的情况下，从电解槽的内部向第2流路输送流体。第2流路具有抑制由雾引起的第2流路的堵塞的堵塞抑制机构。 | ||
| 搜索关键词： | 氟气 制造 装置 散射 检测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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