[发明专利]角速度传感器以及传感器元件在审
| 申请号： | 202080040104.9 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113892013A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 副岛宗高 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 角速度传感器的传感器元件具有压电体、多个激励电极和多个检测电极。压电体具有至少两根驱动臂以及检测臂。多个激励电极在x轴方向以相互相反的相位来激励两根驱动臂。多个检测电极取出通过检测臂的x轴方向或者z轴方向的振动而产生的信号。压电体还具有：框部、从框部向外侧延伸并支承框部的保持部、连接于保持部的与框部侧相反的一侧的支承部。两根驱动臂以及检测臂从框部延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 以及 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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