[发明专利]用于检测一个或多个扫描带电粒子束的设备和方法

摘要

本发明涉及一种用于检查样本的设备。所述设备包括：用于保持样本(5)的样本保持器(10)；带电粒子列(7，8)，其用于产生一个或多个带电粒子束并将一个或多个带电粒子束聚焦在样本上的一个或多个带电粒子束点处；扫描偏转器，其用于使得所述一个或多个带电粒子束点在样本上移动；光子检测器(4)，其配置成当所述一个或多个聚焦的带电粒子束撞击在样本上时或者当所述一个或多个带电粒子束在透射通过样本之后撞击到发光材料层(6)上时检测产生的光子；光学组件(2)，其用于将来自所述一个或多个带电粒子束点的所述光子的至少一部分沿着光束路径投射或成像到所述光子检测器上；以及移位单元(3)，其用于使光束路径和/或光子检测器相对于彼此移位。