[发明专利]微机电系统结构及其应用在审
| 申请号： | 202080042578.7 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113950350A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 马克·A·韦伯;吕克·扬·布斯;阿鲁纳瓦·史蒂文·班纳吉 | 申请（专利权）人： | 梅科诺公司 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00;A61B5/053;A61B5/05 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了微机电系统(MEMS)器件以及操作该器件的方法。该器件包括：衬底平台；以及具有多个曲折臂的电极板，电极板经由多个曲折臂附接到衬底平台，电极板设置在处于静止位置的平面上。器件包括基本上垂直地设置在电极板上的尖锐构件。在各种实现方式中，电极板和衬底平台是共面的。在各种实现方式中，电极板被配置为离开静止位置在垂直于平面的方向上移动。器件还包括对向电极。操作器件的方法包括经由电源跨电极和对向电极供应直流(DC)，以跨器件的电极和对向电极产生静电场。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 结构 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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