[发明专利]多层超导制品、超导线圈、致动器、马达、平台设备和光刻设备在审
| 申请号： | 202080046848.1 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN114026707A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | G·G·A·德格西姆;R·F·M·M·哈梅林克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01L39/14 | 分类号： | H01L39/14;H02K41/03;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在纵向方向(LD)上延伸的多层超导制品(600)，所述制品包括：‑在所述纵向方向上延伸的衬底层(610)；‑在所述纵向方向上延伸的超导层(620)；‑在所述纵向方向上延伸的另一层(630)；其中，所述衬底层或所述另一层包括在所述纵向方向上和在横向方向上延伸的一个或更多个冷却突出部。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 超导 制品 线圈 致动器 马达 平台 设备 光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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