[发明专利]电容器结构在审
| 申请号： | 202080047047.7 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN114097101A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·哈卡莫;托米-佩卡·塔卡洛;彼得里·科蒂莱宁;彼得里·海利厄;塔皮奥·库伊里 | 申请（专利权）人： | 可尔HW半导体公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚文杰 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电容器结构及制造此类电容器结构的方法，电容器结构被实施为包含复数个交替的介电层和金属化层的分层结构。电容器结构包括至少一个侧向平行板电容器部分(LPP部分)和至少一个垂直平行板电容器部分(VPP部分)，所述至少一个LPP部分包括由复数所述交替的层之介电材料分隔的在两个不同的层上的两个第一电极，所述至少一个VPP部分包括两个第二电极，每个第二电极包含布置在复数个所述金属化层上的复数个叠置的平板或条。所述至少一个LPP部分与所述至少一个VPP部分电耦接以形成该电容器结构。由于介电材料之一厚度变化引起的所述至少一个LPP部分之一电容值变化至少部分地通过所述至少一个VPP部分之一的电容值的相反变化来补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 结构 | ||
【主权项】：
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